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光学薄膜论坛»论坛 › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 用溅射机均匀性问题

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[求助] 用溅射机均匀性问题

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积分: 874

发表于 2007-5-28 23:46:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

我现在用溅射机镀金属耙材,均匀性问题总是难调整,望那位大侠帮帮我

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积分: 690

发表于 2007-6-8 13:14:16 | 显示全部楼层

什么镀膜和工件材料？膜厚？要求均匀性多少？

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