一种 MEMS薄膜材料的力学性能测试方法丰

一种 MEMS薄膜材料的力学性能测试方法丰
李雪萍  ，丁桂甫 ，安藤妙子 ，式田光宏 ，佐藤一雄
* r( T' w0 P# j" Q/ {. x(1．上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室
微米／纳米加工技术国家级重点实验室．上海 200030；
2．名古屋大学 微纳系统工程系．名古屋 日本)
摘 要：介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固
3 E  M6 }. F( V2 w) P% d% E定，且与加载机构集成在基片上，从而可减少操作工作量，提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成 ，
  @& ?% o( A# X6 }+ x2 G* \硅类试件以干法蚀刻成型，金属类试件以电镀方法成型，其余加载机构以湿法刻蚀制成。试验表明：使用
, O0 Q" d/ _* ?# o+ F此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验，获得多项力学性能参数，从而为MEMS器件设计
和分析提供可靠的理论基础。
+ _" D9 I- D+ [+ ~: L关键词：微机电系统；力学性能；薄膜；拉伸试验