OEBG-103A电子枪

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电子枪主要技术指标：


1 [: k& G  Z! U- T& ]; y2 c
1、 电子束偏转角：270°；



: l" a% L# ~, n, \2、 高压输出：－4KV ~ －10KV；输出稳定性小于±2%；纹波小于±5%；
4 @, b' V" J; B$ S4 [0 M5 I
/ W; s5 d$ Z9 ]

" [0 Q2 {/ x( |0 m2 g6 w9 l: C+ P2 b3、 发射电流：0 ~ 1000mA（10KV时），稳定性±2%；
6 C; }9 M1 S) b; C+ R
8 z8 N$ j% R, j) k; r
5 U5 A; V6 k; P) \5 C( g# _) p
4、 最大输出功率：10KW；

5、 灯丝电压：8V
4 ^0 l0 H% i( P7 W
2 K% X. F6 o. d- ~9 k6 ]& X' V, k6、 电子溯流变化率：±3%

$ }7 Z+ q8 q, O( A3 ]) z, S7、 可以使用的真空度：7x10-2~5x10-5Pa

& f4 |) B8 z8 {: I- W# B2 G8、 XY位置移动： ±20mm
5 J2 `0 e' |$ U* `3 f& d) G+ |
9、 XY扫描宽度： ±20mm
( Q( v/ d5 g- K* {! a# c1 y
/ y$ i9 g; k- Z) L10、X扫描频率：50Hz   Y扫描频率：500Hz              

( X8 D0 T, R! k6 E8 M此电子枪工作稳定，运行可靠，采用日本技术和进口元件，枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚，使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制，以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标，数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字，且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定，使蒸发面平整，不会出现“扎坑”现象

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