OEBG-103A电子枪

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电子枪主要技术指标：



; \; v  U8 u4 A) d7 k1、 电子束偏转角：270°；

8 y8 l$ N3 s; h9 ?7 }
5 |9 @7 ~3 i6 V+ b9 A
% E; n* ^! n/ W" A  p% @9 s2、 高压输出：－4KV ~ －10KV；输出稳定性小于±2%；纹波小于±5%；
9 E7 i  B8 A$ q0 G( f5 x! |# V4 J

, B/ Y4 X& w/ F. ^2 M
3、 发射电流：0 ~ 1000mA（10KV时），稳定性±2%；



2 E  n2 d# P- f' u! y; x4、 最大输出功率：10KW；

' @, m! q5 l$ J4 S6 q# K9 A5、 灯丝电压：8V
" N) w5 r% P* }) f* ~) f
4 Q% @% H+ v7 M2 T4 k8 v1 g6 \6、 电子溯流变化率：±3%
; \4 s; {/ `; P/ M4 ~+ s  o
8 g0 h% f' X3 b  u; e+ v3 R6 b* |7、 可以使用的真空度：7x10-2~5x10-5Pa
# E4 B6 n8 b, M
# n$ {" j! f0 \) }8、 XY位置移动： ±20mm
$ i# T6 r3 O/ e) r8 w* L6 Z
9、 XY扫描宽度： ±20mm

10、X扫描频率：50Hz   Y扫描频率：500Hz              
* b- d" H( ^( X' v' h4 c( l
5 y2 F  R% }3 k1 [+ m5 {" l此电子枪工作稳定，运行可靠，采用日本技术和进口元件，枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚，使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制，以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标，数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字，且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定，使蒸发面平整，不会出现“扎坑”现象

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