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一种实用化的光控自动真空镀膜机
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【论文题名】 一种实用化的光控自动真空镀膜机
$ }% q% d3 ~( m【英文题名】 An applied optical monitored auromatic vacuum coater % _# ^$ p, n1 m4 X
【作 者】 马孜 肖琦 姚德武 赵汝进 何长涛
; X" m5 R+ y$ H( B( z* e【作者单位】 西南技术物理研究所,四川,成都,610041;西南科技大学信息工程学院,四川,绵阳,621002;四川大学电子信息学院,四川,成都,610064
" R0 f2 O7 w2 }3 W0 c6 M9 r【刊 名】 光学仪器
( {+ \9 i- ?% P& W【英文刊名】 OPTICAL INSTRUMENTS ) Z% ?, x- p0 L, \6 i
【年 卷 期】 2006 Vol.28 No.4 ! C' O. y; c: t Q, T
【栏 目】 沉积技术与控制方法
7 ^% M1 @$ t* o, E' g" p$ D【分 类 号】 O484.4
* A' n' A9 |2 O+ m【关 键 词】 薄膜；镀膜机；光控 * {+ z( ?- ?2 Q6 u
【摘 要】 采用分布式控制(DCS)的方法,用小型可编程逻辑控制器(PLC)替代中型PLC,提出了镀膜真空的13个子过程概念,实现了基于国产部件的真空过程自动化.以国产光控为核心,采用组态软件和控制软件结合的方法,通过经典和现代滤波技术,实现了光控自动判停,采用监控信号变化率dR/dt来控制薄膜的蒸发束率,制作了相应的分光膜和宽带增透膜,在低成本前提下提高了光学薄膜监控的精度. |
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发表于 2007-2-25 14:12:43
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发表于 2007-3-5 15:49:13
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