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各位大虾,2 Z: {# A/ S' W
. g$ `* M" u0 J1 A我现在用蒸镀机是Kronos的QM-311 thickness monitor,镀的MgF,但是同一条件下镀出来厚度极不稳定,monitor 上0.8kA,实际厚度可能是36uinch,12uinch....请问一下这种不稳定的情况是什么原因造成的,是否和晶振类型有关?我用的是gold type的晶振,需不需要用alloy type的呢?
! M+ r7 I$ Q' a/ u0 I) I- C6 Z& v# Z% i T. u. a2 M; m
紧急!
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谢谢! |
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发表于 2007-2-9 21:37:29
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