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[求助] 关于膜的结合力

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积分: 240

发表于 2006-12-31 16:51:07 | 显示全部楼层 |阅读模式

最近我在镀Ti/CaO/Ti/CaO/Ti/CaO/Ti/CaO/Ti/CaO/Ti的多层复合膜5nm左右后,膜的结合力差,怎么提高?
蒸镀方法

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积分: 674

发表于 2007-1-18 21:38:56 | 显示全部楼层

不知你采用的基底是什么材料？采用何种热处理？还有蒸镀的参数能否再进一步优化？

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