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我们最近镀的窄带出现无规律漂移。3 I1 v6 z( I& a! w! A: x9 Z9 r1 M- @
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机器:光驰OTFC-1100,2007年买的。光学间接监控,晶控辅助,离子源,控制波长1084NM。6 y; M1 K2 X! A# M
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膜料:sio2,ta2o5.9 p% `( X9 I( O) T
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膜系要求:1064NM在0°12°15°,T>80%。这样就设计出来一个半波在20NM左右的一个窄带,0°中心波长在1073nm。我们设计的膜系是44层。
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现象:无规律的偏薄或者偏厚5~20NM,这样膜就用不成了。经常前一罩完全正常,后一罩就漂移了。也有连着好几罩正常,突然出现漂移的。出现漂移后,我们修改控制波长进行修正,会出现膜系完全和上罩曲线一样,没动的现象。再修改控制波长,,膜系会移动两次修正之和的位置。有点乱啊,呵呵,举个例子啊,这次是中心波长在1078,我控制波长移薄5个,正常的话出来的中心波长应该在1073,结果出来中心波长还在1078,然后我又移薄5个,这次出来的中心波长却是在1068位置。好几次都是这样。但是 镀截止膜的时候几乎没出现过这种情况。
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6 `( e/ X4 O! i( X解决办法:1.先是怀疑单色仪有问题,换来厂家的装上,没解决。* Q* ~+ ?. I& b2 X
, l. i7 s& r/ S* q$ a 2.我们有红外单色仪,换上用红外波长控制,没解决。- [" a9 G1 d5 q
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3.换控制波长,波长换到700,没解决。
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4.厂家说可能是装光控片的托盘时间长变形了,买来新的换上,用平行度小的光控片,没解决。
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1 r6 J" ~/ @# I 5.怀疑离子源问题,买来新的栅网换上,没解决。
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# }: p7 i& Y% l$ u( m; g8 ` 6.更换旋转架滚珠,没解决。
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" Y: x! Q# i4 B* x 7.更换修正板,没解决。1 V6 K) O" j! t8 c- X- B1 Z t
0 t k" t5 {4 I8 Q S! l5 J: } 8.测量温度,正常,没解决。
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目前就实验了这么多办法,实在想不出来了,各位同行有没有好的提议,大家都来讨论交流一下。- R) @; V5 {; ]9 g% h0 P
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