用过MDC-360C膜厚控制仪么?告之,谢谢
电子束蒸发镀膜设备,配了MAXTEK MDC-360C 晶控膜厚设备镀纯铝,工艺相同,但每次测量的膜厚和晶体显示膜厚不同,没有一定比例关系。
如设定1500A,早上为1700A,下午就只有750A,工艺条件什么都没有变化,
唉,哪里出了问题哦?
帮忙分析,谢谢!
txlyaya@sohu.com 为什么总是没有人回我贴 看看水温。 1.下午镀膜过程中是否一直看着晶控仪,
2.其膜厚显示达到1500后是否自动结束蒸镀,
3.晶控片是否是原装的新片,下午开始镀膜时CRYSTAL HEALTH是多少呢? 跟晶控片的寿命有关 TOOLING 是不是没做准? 膜厚检测仪检测的厚度准嘛? al镀膜比较敏感,特别是用晶控,晶控仪方面可以每次换一片,相对稳定.+恒流+定时 最近也正在寻找合适的膜厚检测设备,大家有什么建议? 用IC5吧,或用光学监控好咯!
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