光驰镀膜机镀膜IR产品单圈内部个别片密集型点子异常原因
各位好:最近在生产IR产品时,发现有些机台经常出现单圈内部个别片表面密集型点子,现在进行的各种对策均无效果,请求各位的帮助。谢谢!
控制镀膜速率,清洗护板,维护离子源。
bomoaa 发表于 2018-9-27 20:31
控制镀膜速率,清洗护板,维护离子源。
1.速率大小调整没有做过,速率稳定性我们现在控制±5%
2.护板清洁:喷砂/酸洗都试过,更换周期调整
3.离子源:栅网更换,栅网清洁,提前预热离子源
4.材料更换,重新打底料
5.基板清洗后检查
6.机台保养
以上这些都试过了,还是有这种异常 bomoaa 发表于 2018-9-27 20:31
控制镀膜速率,清洗护板,维护离子源。
1.速率大小调整没有做过,速率稳定性我们现在控制±5%
2.护板清洁:喷砂/酸洗都试过,更换周期调整
3.离子源:栅网更换,栅网清洁,提前预热离子源
4.材料更换,重新打底料
5.基板清洗后检查
6.机台保养
以上这些都试过了,还是有这种异常 单圈是内圈还是外圈 描述能否详细点 单圈是内圈还是外圈 描述能否详细点 tearzhou 发表于 2018-9-28 15:45
单圈是内圈还是外圈 描述能否详细点
如图,部分片表面密集区域,打×为异常位置
liujun0527 发表于 2018-9-29 08:06
如图,部分片表面密集区域,打×为异常位置
1.建议更换箱门密封圈 2.确认高伐出的playcold是否出现问题 tearzhou 发表于 2018-9-29 12:26
1.建议更换箱门密封圈 2.确认高伐出的playcold是否出现问题
好的。谢谢!我们试试。
页:
[1]
2