专利名称一种红外滤光片的制作方法
专利名称一种红外滤光片的制作方法技术领域本实用新型涉及滤光片，具体地，涉及干涉滤光片，尤指一种红外带通滤光片。
光学薄膜滤光片是一种重要的分光器件，它的应用已深入到航空航天遥感、激光、通讯、分析仪器等许多科技领域。由于许多光学薄膜材料的光学性能会随着环境温度的变化而变化，因此，当光学薄膜器件在低温或环境温度不断变化的情况下使用时，光学薄膜器件光学特性会随着环境温度的变化而发生变化。这种变化主要表征为薄膜器件的峰值透过率发生变化，截止波长或中心波长的位置发生漂移，带宽改变等。对于环境温度变化较大，精度要求较高的光学仪器来说，这种变化会对系统产生严重的影响，甚至使得仪器失效。因此，要提高这类光学仪器的稳定性、可靠性和抗环境干扰能力，就必须解决其光学性能随温度变化的问题，提高光学薄膜器件的温度稳定性。
本实用新型的目的，是提供一种在4μm～20μm之间工作的红外滤光片，它的中心波长在77K～300K范围内不随温度变化。
本实用新型是这样实现的，即，以表面抛光的锗板作为基板，在其表面交替镀有多层碲锗铅膜层和硒化锌膜层，其中，该多层干涉膜的主通带膜系为Ge|3L2H3LH3L2H3LH3L2H4L|Air，式中各符号含义分别为Ge表示锗基板；H表示光学厚度为Λ0/4的碲锗铅膜层；L表示光学厚度为Λ0/4硒化锌膜层；Λ0为工作波长，Air表示空气。
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详述。
附图说明
图1是本实用新型滤光片的结构示意图；图2是本实用新型滤光片的主通带变温光谱曲线图。
参阅
图1，本实用新型滤光片包括一块基板1，在该基板1的表面镀有多层干涉薄膜层2、3，具体地，本实用新型以表面抛光的锗板作为基板1，其外形可视实际需要而定，厚度介于0.5毫米-1.5毫米之间。基板1表面的多层干涉薄膜层2、3系由交替间隔的硒化锌膜层2和碲锗铅膜层3组成，可以通过热蒸发的方式，在基板上真空沉积而成。
本实用新型由硒化锌膜层2和碲锗铅膜层3组成的主通带膜系4设计为Ge|3L2H3LH3L2H3LH3L2H4L|Air，式中各符号含义分别为Ge表示锗基板；H表示光学厚度为Λ0/4的碲锗铅膜层；L表示光学厚度为Λ0/4硒化锌膜层；Λ0为工作波长，Air表示空气。
由图2可知，本实用新型滤光片，在78K和300K的环境温度下，其中心波长、带宽不随温度变化，具有稳定的光谱特性。因此，若将其用在分析仪器下，可以大大地提高仪器的稳定性，增加仪器的抗环境干扰能力。
此外，本实用新型还具有如下的有效益效果。
1、本实用新型提供了一种带通滤光片，它只选择透过特定的光谱带，从而提高仪器的信噪比。该滤光片的工作波长可根据需要在4μm到20μm之间。
2、由于本实用新型自身具有很高的温度稳定性，因此避免了在仪器中附加滤光片使用温度控制装置，简化了仪器的结构，节约了仪器的功耗。
3、该滤光片适宜批量生产，产品的膜层牢固，可经受低温冲击，划片切割等工艺。
权利要求1.一种红外滤光片，包括一表面抛光的锗基板(1)，其表面交替镀有多层硒化锌膜层(2)和碲锗铅膜层(3)，其特征是，由该硒化锌膜层(2)和碲锗铅膜层(3)组成的主通带膜系为Ge|3L2H3LH3L2H3LH3L2H4L|Air，式中各符号含义分别为Ge表示锗基板；H表示光学厚度为Λ0/4的碲锗铅膜层；L表示光学厚度为Λ0/4硒化锌膜层；Λ0为工作波长，Air表示空气。
专利摘要一种红外滤光片,以锗为基板,碲锗铅和硒化锌为镀膜材料,用真空蒸镀干法膜的方法制备而成。在77K～300K的范围内,该滤光片的中心波长、带宽不随温度变化,具有良好的温度稳定性。该滤光片可在环境温度不断变化的情况下使用,如:空间遥感、气体分析中环境温度变化的地方,该滤光片能够大大地提高仪器的稳定性,增强仪器的抗环境干扰能力。
文档编号G02B5/28GK2387550SQ99226998
公开日2000年7月12日 申请日期1999年6月18日 优先权日1999年6月18日
发明者范滨, 张风山, 张素英, 朱玲心, 张麟, 黄泳宝 申请人:中国科学院上海技术物理研究所
X技术网 原文链接:http://www.xjishu.com/zhuanli/20/99226998.html
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