sdpl1122 发表于 2014-10-29 15:56:54

利用TFC求N、K值时，膜层厚度如何测啊，需要填写膜层的厚度啊

利用TFC求N、K值时，膜层厚度如何测啊，需要填写膜层的厚度啊

bomoaa 发表于 2014-10-29 19:28:51

粗略的话根据晶控厚度给个厚度就可以了，软件可以优化计算。
精确的话用椭偏仪，台阶仪等仪器测量。

sdpl1122 发表于 2014-10-30 16:55:00

bomoaa 发表于 2014-10-29 19:28
粗略的话根据晶控厚度给个厚度就可以了，软件可以优化计算。
精确的话用椭偏仪，台阶仪等仪器测量。

谢谢！

jixingyilai 发表于 2014-11-1 13:54:52

把你测得的曲线导入tfc，优化就可以得到厚度

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58:44

jixingyilai 发表于 2014-11-1 13:54
把你测得的曲线导入tfc，优化就可以得到厚度

能具体说说不

bomoaa 发表于 2014-11-10 23:08:25

应该把测得的曲线数值作为优化目标，进行优化计算的

jixingyilai 发表于 2014-11-13 22:47:41

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

jixingyilai 发表于 2014-11-13 22:47:48

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

jixingyilai 发表于 2014-11-13 22:47:49

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

jixingyilai 发表于 2014-11-13 22:47:49

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了
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