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我们最近镀的窄带出现无规律漂移。, c' y; x; ]8 C, e7 I0 N \! {' f
. O4 x$ _: Y2 R机器:光驰OTFC-1100,2007年买的。光学间接监控,晶控辅助,离子源,控制波长1084NM。5 T" G6 |: y0 c( w7 s7 n( \
) j- O( p5 ?, Q3 A( y" n膜料:sio2,ta2o5.0 Z( [0 Z# _/ s: V1 B) ?
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膜系要求:1064NM在0°12°15°,T>80%。这样就设计出来一个半波在20NM左右的一个窄带,0°中心波长在1073nm。我们设计的膜系是44层。
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: P( z" d; ^2 {3 x现象:无规律的偏薄或者偏厚5~20NM,这样膜就用不成了。经常前一罩完全正常,后一罩就漂移了。也有连着好几罩正常,突然出现漂移的。出现漂移后,我们修改控制波长进行修正,会出现膜系完全和上罩曲线一样,没动的现象。再修改控制波长,,膜系会移动两次修正之和的位置。有点乱啊,呵呵,举个例子啊,这次是中心波长在1078,我控制波长移薄5个,正常的话出来的中心波长应该在1073,结果出来中心波长还在1078,然后我又移薄5个,这次出来的中心波长却是在1068位置。好几次都是这样。但是 镀截止膜的时候几乎没出现过这种情况。
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+ z9 F$ R, ~2 _& t- N) l- d解决办法:1.先是怀疑单色仪有问题,换来厂家的装上,没解决。8 t( v' Z' J0 D( S0 m
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2.我们有红外单色仪,换上用红外波长控制,没解决。
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3.换控制波长,波长换到700,没解决。
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* s% k8 Z* p- o; d, ] b7 p 4.厂家说可能是装光控片的托盘时间长变形了,买来新的换上,用平行度小的光控片,没解决。
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) n9 [! b* B; L 5.怀疑离子源问题,买来新的栅网换上,没解决。( T: I# e" s4 G* w3 }8 H- Q
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6.更换旋转架滚珠,没解决。. X% l( W9 H$ ]4 E" [1 \! j
; P& k$ N1 L* e 7.更换修正板,没解决。
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8.测量温度,正常,没解决。
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目前就实验了这么多办法,实在想不出来了,各位同行有没有好的提议,大家都来讨论交流一下。 K- F# ]6 p" V8 Q) U7 h' }) d
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