PENGNA_CR 发表于 2014-3-1 19:04:31

Al2O3蒸镀问题

哪位大神可以帮忙解释一下,蒸镀Al2O3时,机台模拟n-T的曲线峰值折射率在2.3附近,但实际蒸镀出来却是-2.26,实际蒸镀曲线折射率在0以下但模拟曲线折射率在0以上,两曲线方向相反是因为什么啊?大家蒸镀Al2O3的折射率是多少啊?我做出来是1.575,谢谢各位啊~~~

xiaohuilee 发表于 2014-3-3 18:58:57

晕了 你测透过率峰值在2.3是R值吧一般为1.68左右

PENGNA_CR 发表于 2014-3-4 08:21:59

xiaohuilee 发表于 2014-3-3 18:58
晕了 你测透过率峰值在2.3是R值吧一般为1.68左右

是R值,不好意思我说错了,现在我镀出来的是1.575,但是在材料编辑里面必须写1.46左右才能正常镀,您知道这是为什么吗?

xiaohuilee 发表于 2014-3-6 18:31:24

PENGNA_CR 发表于 2014-3-4 08:21
是R值,不好意思我说错了,现在我镀出来的是1.575,但是在材料编辑里面必须写1.46左右才能正常镀,您知道 ...

1.46是sio2的折射率你把你的镀膜曲线发出来我给你算算也有可能是你的算法不对
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