请问设计的膜系需要几十层的,实际如何蒸镀?中间如何补充膜料?
请问设计的膜系需要几十层的,实际如何蒸镀?中间如何补充膜料?是否国内设备无法完成此类膜系,需要国外设备? 层数多少关系不大,最主要是要看整体的膜厚度是多少?把抢做大些,膜料装多些就够了 现在的坩埚都有好几个呢 除非你是单坩埚的 那只能用多坩埚的,多加些膜料,现在的莱宝和光驰都是20多个坩埚的,基本可以读到100层左右,一般都是光控
如果坩埚实在少,那只能充气退出,装料,接着镀罗 {:12_131:} 现在稍大的镀膜机都是至少两把枪,一把枪对20穴坩埚(TiO2),一把枪对环形坩埚(SiO2),材料肯定够用了!
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