如何用双离子束溅射制备低吸收的hfo2薄膜
一直在做用双离子束溅射制备氧化铪薄膜,总是吸收很高,氧气多了反而吸收也高了,搞不懂什么原因,氧气少了氧化不充分会吸收高,怎么氧气多了也吸收高了?有没有做过的帮帮我,急着交毕业论文呢!谢谢哈! 可以考虑下你的设备的抽空效率,比如机械泵加扩散泵组合抽空效率最高的时候是在2.0X10-2Pa左右的时候,如果充氧使真空回升到这个真空度附近时,就容易出现这种情况,随增加了氧气流量,但氧化仍然不完全。可以考虑在离子源工作气体中通入一定量的氧气,或者直接使用氧气来工作。
我们公司买了个金属HF靶材,结果在睡觉,不好做啊,
同意一楼意见 {:12_135:} 吸收高了多少?
绘条曲线来研究下
我是做薄膜吸收测试的,据我所知,吸收测试的不确定度都在15%左右,楼主的问题是否在误差以内?
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