LED UV光刻光源
深圳市蓝谱里克科技有限公司，致力于提供紫外线全行业解决方案，我们的芯片光谱覆盖紫外全波段265nm 280nm 310nm 340nm 365nm 375nm 385nm 395nm 405nm。在集成电路制造领域我们进行了长期的探索和研究，研制开发了系列LED UV光刻光源产品，在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用，随着研究进一步深入，LED UV光刻光源会更加完善！LED UV光刻光源的优势：
1.LED UV光谱集中、能量集中
2.专利光学配光，保证光照均匀
3.大功率芯片集成，保证紫外能量充足
4.冷光源照射，热辐射很小
5.即开即关、无需预热
LED UV光刻光源产品在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用
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