密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件
密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件薛大同1 肖祥正1 王庚林2
(1.兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室;2. 北京市科通电子继电器总厂)
摘要：密封器件的氦质谱细检漏技术分压氦法(即背压法)和预充氦法两种。由于密封器件氦质谱细检漏技术的特殊性，同一个测量漏率所对应的可能是小漏孔，也可能是大漏孔。
对于压氦法，公认的先细检再粗检方法受最长候检时间的限制，过短不利于表面吸附氦气的净化，过长可能造成漏检。
预充氦法的优点是可用于检测压氦法检测不到的小漏孔。然而，用户复检预充氦密封器件的漏率时，候检时间往往已很长，其中可能存在的大漏孔会处于分子流状态，因而不能靠粗检法鉴别，而单纯靠压氦法复检加粗检，又发挥不出预充氦法的优点。
本文改进了预充氦法大小漏孔均在分子流范围时的鉴别方法：
(1)提出候检时间存在两个特征点，一个是保证大漏率可以靠粗检法鉴别的最长候检时间，一个是保证任务允许的最大测量漏率不超过测量漏率～等效标准漏率关系曲线极大值点的最长候检时间。采用我们提出的检测方法，即使候检时间超过了这两个特征点时间，仍有可能判断漏率是否合格，并在漏率合格时给出被检器件的等效标准漏率;
(2)预充氦密封器件氦质谱细检时经常会辅以压氦法复检加粗检，我们对压氦法复检加粗检赋于了一项更重要的职能，即主要用于判断被检器件等效标准漏率是否超过预充氦法测量漏率～等效标准漏率关系曲线极大值点。然后分别各种情况对漏率合格的被检器件或者用压氦法公式，或者用预充氦法公式确定其等效标准漏率。
这样做，充分发挥了预充氦法可用于检测压氦法检测不到的小漏孔这一优点，有利于保证航天密封器件的长寿命、高可靠。
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