bomoaa
发表于 2013-3-10 10:26:02
ti3o5折射率问题
五氧化三钛折射率为什么总也做不高工艺调整无效 请大侠指点
rollo_tomasi
发表于 2013-11-25 08:54:08
你们有没有用离子源跟镀？因为用离子源辅助淀积会提高材料折射率！
sgh920
发表于 2013-11-26 09:53:12
蒸发位置还有温度
oceanwave2013
发表于 2013-12-6 10:39:09
离子源，加热温度，蒸发速率和蒸发源离工作盘的距离都能影响TI的折射率
lzh1234
发表于 2014-8-17 04:17:21
{:12_131:}
chenjian026
发表于 2018-3-31 15:44:54
我用莱宝试了 离子源压力和加热温度 折射率 也没办法提高
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