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bomoaa
发表于 2013-3-10 10:25:29
油扩散泵抽速不稳定?
各位大侠,请问油扩散泵如果3年没保养过(仅加油或换油),镀膜室内充气体(固定流量600SCCM),会不会出现镀膜室压力时高时低(从2mtorr到3.2mtorr),也就是抽速不稳定这种现象?因为以前没出现过,当然也可能是漏气,但我想问如果不漏气的情况下会不会出现这种情况?谢谢!
lzh1234
发表于 2014-8-17 04:55:33
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