嘻嘻嘻123 发表于 2012-12-15 10:27:25

光谱仪测试曲线发生该变，请教大家

最近我的一个膜系不稳定，要求在420nm的反射率是在1.5以下，最近发生改变跳到4.0以上了
我们用的sio2和TI3O5，请问大师们，这是怎么一回事啊

bomoaa 发表于 2012-12-16 14:11:50

你们用什么监控膜厚？是不是工艺参数变了？还是测试原因？

27676995 发表于 2013-11-9 01:04:15

{:12_127:}
页: [1]
查看完整版本: 光谱仪测试曲线发生该变，请教大家