firefiend 发表于 2012-6-20 02:51:22

如何检验氩气的纯度

我用于溅射的Ar怀疑纯度不够,该如何检验其纯度?谢谢

bomoaa 发表于 2012-6-20 12:55:49

可用xps分析薄膜元素含量看看
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