queen323 发表于 2012-6-5 09:46:23

求助电弧源制备Ta2O5薄膜的工艺参数（直流阴极电弧源）

求助电弧源制备Ta2O5薄膜的工艺参数（直流阴极电弧源）
以及电弧源下Ta的最小工作电流
页: [1]
查看完整版本: 求助电弧源制备Ta2O5薄膜的工艺参数（直流阴极电弧源）