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› 以硅片做衬底镀二氧化硅,对硅片有什么要求?
firefiend
发表于 2012-5-24 04:14:02
以硅片做衬底镀二氧化硅,对硅片有什么要求?
硅片要是是P型还是N型的?
晶向是(100),(110)还是(111)?
为什么有这样的要求?谢谢。
bomoaa
发表于 2012-5-24 10:04:32
不需要这么多要求吧
我们用一般的单晶硅就可以了
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以硅片做衬底镀二氧化硅,对硅片有什么要求?