opbebiwtkz 发表于 2012-2-21 18:58:27

又来了一个镀膜问题，最近总是接二连三的，求助求助。先谢谢大家

自从机器的漏水问题修好后，换了新的TI3O5硬壳。坩埚也重新校准后，现又出现了新的问题
1.TI3O5速率始终上不去，我的机台是水晶控制电子枪功率的，导致功率上升过高跳了，且还是上不去。XTC报警。报警问题是 xtc异常（STOP).更换新的也没有作用。
2.我将真空度调整了，将TI3O5的调整镀膜电流为1.6810-2pa，可是镀了两炉都没问题，第三炉又是上述报警。SIO2没有问题
3.镀膜的时候也将光斑调整没有问题。

请问专家们，我的机器到底是哪里出现了问题。
这是上一篇问题的求助http://bbs.oecr.com/forum.php?mo ... mp;page=1#pid973412
先谢谢专家们无私的解答。

九门 发表于 2012-2-23 12:53:57

可能是这几个问题点，你排查下，1材料问题，2电子枪问题，3膜厚控制仪参数PID设置

guwu830117 发表于 2012-10-12 10:59:37

高手出来讲下

迷人夏季 发表于 2013-4-1 16:30:14

{:12_131:}

ranguangpu 发表于 2013-5-16 15:56:21

支持九门大师

lichao85173950 发表于 2013-5-31 16:01:34

支持九门

tangtang0427 发表于 2014-2-20 10:03:34

你看一下你的机器的参数设定，电子枪允许波动的最大值，如果电子枪不稳定波动超过机器设定的最大值机器会自动停止，另外看看你的XTC设定里（有的机器在速率设定里）是否有速率波动超过一定值就报警的，可以把以上值按实际情况调大一点，不知你用的什么型号的机器

ww040109117 发表于 2014-2-20 12:33:44

电子枪的问题，可以确定的告诉你，后面的数字电路模块坏了
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