xiaojiang 发表于 2010-11-10 08:15:07

tfcale怎么运用到镀膜机上啊  

急问大家用tfcale设计出的参数怎么运用到镀膜机上啊   比如说sio2光学厚度为2.34怎么镀出来呢    我用的是光电极值法检测膜厚的      困恼很久 啊    忘解答   我的 qq362991533

书生123456 发表于 2010-12-3 11:33:28

用晶控片，显示值与实际值有关系，需要测量实际值，找到他们之间的关系。

z1206l 发表于 2010-12-2 07:54:09

是指哪方面？
晶控，光控，反射还是投射？

hong151453 发表于 2010-12-2 08:26:52

是啊，设计好 的物理膜厚，如何用到镀膜机上?

hong151453 发表于 2010-12-2 08:29:24

比如说，设计出来的一条曲线，理论上很好，如何换算成晶控的厚度？镀膜机上程序设计均是以Ic/5 输入数值的，如何变换？

gds 发表于 2010-12-2 09:51:02

1.先精确计算tooling值
2.将膜系设计软件的计算厚度输入，注意单位转换：nm－》KA
3.对计算结果反演
4.。。。。

hong151453 发表于 2010-12-3 09:28:09

能说更详细一点吗？能发一点相关资料吗？QQ 178582764，谢了

wxcad1 发表于 2010-12-3 10:27:54

怎么运用到镀膜机上啊，我也不懂啊，gds请教了

H_jins 发表于 2011-4-15 13:00:42

哥哥,你有TFC吗???我不知道怎么下载啊!~你用的是哪一款啊

H_jins 发表于 2011-4-15 13:00:51

哥哥,你有TFC吗???我不知道怎么下载啊!~你用的是哪一款啊
页: [1] 2
查看完整版本: tfcale怎么运用到镀膜机上啊