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发表于 2010-8-11 04:05:01
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com: D: v( N/ F, P7 D6 \1 i7 |
/ O" k! [: I! O. F: n, l
测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率
& I8 d: x: m: _+ {! L S" y0 |3 j5 C3 {8 k
产品规格
- Y! ^ o* D r' [9 P波长范围：250nm到1100 nm
% \7 \5 W' h% m3 O1 K7 k光斑尺寸：500μm至5mm 0 J5 k6 E, _3 e% i8 t' k% y! f0 ]+ {, ?/ t
样品尺寸：100mmx100mm + e( @$ [. I* F" ?: {% W0 h. F) Z
基板尺寸：最多可至50毫米厚 . }+ ^( w0 N7 O, w( d
测量厚度范围*：5nm-50μm ( l1 |' o. H) y1 d+ g# a
测量时间：最快2毫秒 3 b' E4 k4 c8 g% p! @
精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） # z2 j% H2 m5 Z
重复性误差*：小于1A
# X8 z0 A5 Z+ w
/ g5 A1 F7 J& U$ l! g产品应用: % a( t, Q8 M: R) N" {7 l* O3 [3 G+ v9 h
半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
4 i/ o7 Z$ y: B# J8 R, v f液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
e0 ^4 d9 h. F+ p( l8 a医学，生物薄膜及材料领域等 $ ~3 }: ~( ~% v* W7 ]" L& @; V( N8 ^1 u
油墨，矿物学，颜料，调色剂等 ! Q8 [) l1 h1 o6 D
医药，中间设备 " y. K0 a0 a: j @4 j9 P4 m
光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
( p1 J4 M# A% O) @! L; b9 U半导体化合物 " ^( Y1 o6 M& l& n/ H
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 - i4 J1 k5 u4 D! b# c. ]
非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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