能测量反射和透射的分光仪哪有卖的?
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liusp@beijingec.com 我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com
测量类型:薄膜厚度,反射光谱,透射光谱,折射率
产品规格
波长范围:250nm到1100 nm
光斑尺寸:500μm至5mm
样品尺寸:100mmx100mm
基板尺寸:最多可至50毫米厚
测量厚度范围*:5nm-50μm
测量时间:最快2毫秒
精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差*:小于1A
产品应用:
半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
医学,生物薄膜及材料领域等
油墨,矿物学,颜料,调色剂等
医药,中间设备
光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
半导体化合物
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
非晶体,纳米材料和结晶硅 你可以看看岛津的设备,操作起来比较方便 谢谢楼上的好心人,但岛津的太贵了。有没国产的呀 价格多少? {:12_127:},路过了解一下
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