1300 型镀膜机作业手顺书
一、开机1、打开总电源。
2、打开进水阀。
3、打开进气阀门（进水阀旁）。
4、打开电控柜上方进气阀门。
5、确定已有外部循环水，打开冷水机水泵开关（既电源开关）。
6、再开冷水机压缩机开关。
7、打开电控柜内电源开关。
8、将电控柜面板处晶控仪打开。
9、检查水、电、气是否就绪，然后将电控柜下方机组状态旋钮旋为自动，按绿色“开机”按钮，
机组维持泵、扩散泵加热器、维持泵相继打开，机组开始加热，加热80 分钟后，机组可正
常工作。
10、 按绿色“取件”按钮，三声警报后，充气阀打开，对机组充气，几分钟后，真空室门开。
二、镀膜
1、用铜丝刷、三角刮刀、吸尘器对坩埚及坩埚周围进行打扫，将电子枪挡板送喷砂处理。护板
等更换见《护板更换周期管理》。
2、将坩埚衬套作喷砂处理后，用吸尘器将附着砂粒吸掉，并用酒精擦拭，加镀制零件所需膜料，
并将衬套放入所对应坩埚位置。
3、查看电控柜上MDC360 晶控仪上晶片寿命值，若晶片寿命〈97，则更换晶片。
4、确定上述操作无误后，双手提伞片把手，将备好零件放于真空室旋转架上，并检查伞片是否
放到位，有无变形，所对应比较片是否安放。
5、上述过程完成后，关真空室门，确定电控柜上“室门”指示灯点亮后，说明真空室门已关闭。
6、按绿色“取件”按钮，充气阀关闭，按绿色“真空”按钮，机组开始抽真空。
7、将旋转架旋转打到7 转/分。
8、抽真空过程中，记录机组各数据表。
9、真空到8.0*10-3PA 后，可对膜料进行手动预熔。（附：手动预熔操作）。
10、 在恒温和设定真空度到达后，将旋转架旋转打到20 转/分。
11、 打开质量流量计开关，调节进气量，根据各膜料充氧不同，维持不同真空度。
12、 打开电子枪扫描控制电源。
13、 按绿色“灯丝“按钮，调节“预置”按钮，使灯丝电流为0.5A，电压应在40-50V 间（如
电压低于40V，考虑更换灯丝）。
14、 按手持遥控盒上“高压”按钮，打开电子枪高压。
15、 按MDC360 晶控仪面板上“START”按钮，在程序单中选择镀制零件所需程序，再按
“START”，开始自动镀制。
16、 自动镀制开始时，应用手持遥控盒上X、Y 位移、扫描幅度旋钮调节光斑，使之处于膜
料中心及相应的扫描面积。
17、 镀制过程中，应监视光斑变化，并注意电子枪灯丝电流、高压、晶片值、充氧状态等参
数变化情况，如有异常，应立即按MDC360 晶控仪上“ABORT”按钮，停止蒸镀，根据情
况做相应处理。
18、 在镀制MGF2 膜料时，应关闭充氧。
19、 蒸镀完毕，先按手持遥控盒上“高压”按钮，关闭电子枪高压。
20、 将X、Y 扫描旋至0，关闭电子枪扫描电源。
21、 将“灯丝预置”旋至0，按“灯丝”按钮，关闭电子枪灯丝电流。
22、 按MDC360 晶控仪上“REST”按钮，使晶控仪复位。
23、 将旋转参数调节为7 转/分。
24、 按“镀膜结束”按钮，镀后恒温时间结束后，关闭烘烤，关烘烤后时间到达后，关机组高阀，进入真
空室冷却阶段。
25、 真空室内温度约为220℃后，按“取件”按钮，三声警报后，对真空室进行充气，充气完毕，真空室
门开（后继作业开始抽真空时，只需按“取件”按钮即可），进行取件作业。
三、 关机
1、 关真空室门，按“取件“按钮”对真空室开始抽气，底真空信号亮后，按“真空”按钮，机组停止抽气，
再按“开始”按钮，机组进入扩散泵冷却阶段，1 小时后，维持泵、维持阀将自动关闭。
2、 关闭电控柜面板上各仪器电源。
3、 关闭电控柜内电源。
4、 关冷水机压缩机，再关冷水机水泵。
5、 关电控柜上方进气阀，再关总进气阀。
6、 关进水阀。
7、 关总电源。
附：手动预熔操作
1、 真空度为8.0*10-3PA 时，可进入手动预熔操作。
2、 将电子枪控制旋钮调节到“手动”状态。
3、 打开电子枪扫描电源。
4、 按“灯丝”按钮，调节“灯丝预置”为0.5A。
5、 按手持遥控盒上“坩埚”按钮，使坩埚转到所要预熔膜料的位置。
6、 开遥控盒上“高压”按钮。
7、 利用遥控盒上X、Y 位移、扫描幅度调节旋钮，控制光斑在膜料上做圆周运动，调节“束流”按钮逐渐
加大电子束流，对膜料进行预熔。
8、 预熔完毕，依次关闭电子枪高压、灯丝预置、灯丝电流，并将控制旋钮调节到“自动”状态。 推断不出到底是什么型号机器
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