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薄膜工艺
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fanyushan
发表于 2010-5-5 03:40:03
靶材纯度
各位大侠,你们好!
我想在亚克力上做不导电金属膜(ncvm),在上面再加一层防护膜TiO2,TiO2用中频磁控反应溅射,那么,金属Ti靶,多高的纯度合适?
gds
发表于 2010-5-5 04:40:32
至少99.9吧,主要看你的要求了
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靶材纯度