fanyushan 发表于 2010-4-14 23:28:01

电子枪蒸发si参数 对最终膜层形态的影响

各位大侠，版主好！
用电子枪蒸发si，参数放在什么条件下能得到多晶硅，什么条件下是无定形的硅，
常用电子枪蒸发能做出来单晶硅么？

zhougb 发表于 2010-4-16 04:57:36

应该做不出单晶硅吧
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