溅射法制备梯度薄膜研究进展
溅射法制备梯度薄膜研究进展英文标题：Progress in the Research of Gradient Film Preparation by Sputtering
作者：宋娟
作者单位：盐城工学院,材料工程学院,江苏,盐城,224051
刊名：盐城工学院学报（自然科学版）
英文刊名：JOURNAL OF YANCHENG INSTITUTE OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
年/卷/期：2009 /22 /03
栏目名称：化学与材料工程研究
分类号：O484.5； TB43
关键词：梯度薄膜； 气体流量； 溅射参数
摘要：梯度薄膜是一种涂覆型梯度材料,具有均质薄膜无法比拟的优越性.溅射法效率较高且环保,较广泛地应用于梯度薄膜的制备.对于反应溅射,可通过连续改变反应气体流量制得化学成分比连续变化的梯度薄膜.对于非反应溅射,可通过溅射一系列不同成分比的靶材制得梯度薄膜,但成本较高,且梯度层有限.而通过连续改变溅射参数来制备梯度薄膜是较常用的方法.
基金项目：
数据库名： 数字化期刊数据库 謝謝提供資料
参考一下，谢谢喽。
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