chenjian026 发表于 2018-3-31 15:53:30

路过看看

xiaohuilee 发表于 2018-4-18 11:02:35

增加SiH4的量 减少O2的量就好了比例要慢慢摸索我这边用ICPECVD

士官长 发表于 2018-7-10 11:29:23

离子源减少氧气增加氩气，氩气能量更大，可以提高SiO2的聚集密度。

18810517900 发表于 2019-5-28 16:54:24

谢谢分享

787666418 发表于 2021-8-29 22:18:54

学习了
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