› 薄膜工艺 › 镀膜时，样品表面不与夹具平行会是什么样子？谢谢。

stonetiny 发表于 2010-2-23 10:41:54

镀膜时，样品表面不与夹具平行会是什么样子？谢谢。

目前在镀膜工艺中，遇到一个情况，即：双离子束溅射时，样品表面为倾斜的（不与行星盘平行），镀1064nm增透，这样会是什么样子，有人遇到过吗？谢谢，请多多指教。

gds 发表于 2010-2-23 10:45:25

是spector镀膜机？
样品表面为倾斜的是不是对均匀性有点影响？

zitong 发表于 2010-3-1 22:09:56

我觉得也会对薄膜的均匀性造成影响

95489548 发表于 2013-9-4 22:24:55

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27676995 发表于 2013-11-9 01:01:32

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lzh1234 发表于 2014-8-17 04:39:56

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