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xx_912
发表于 2010-2-15 20:20:57
薄膜制备新技术
【标题】薄膜制备新技术
【作者】张佐兰
【关键词】薄膜制备 硅膜 电化学腐蚀
【刊名】固体电子学研究与进展 1990-10-3
【ISSN】1000-3819
【机构】不详
【摘要】
longmin
发表于 2010-2-16 01:45:22
謝謝樓主
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薄膜制备新技术