alex374312 发表于 2010-1-19 16:19:18

有关ITO膜层的信赖问题

向论坛里各位大虾请教。为什么我做出来的膜层不能耐6%HCl溶液？
工艺为常温下磁控溅镀，镀出来的玻片没有经退火处理，方阻在800欧左右。

alex374312 发表于 2010-1-19 18:23:34

顶起，急寻高手帮忙

280870377 发表于 2012-10-31 05:41:11

300-400度之间，经过退火1小时后，方阻值能降低不少的。

27676995 发表于 2013-11-8 17:07:21

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