Ti3O5蒸镀求助!
求助高手:我现在想用只有E-GUN和加热源(没有离子源)的设备蒸镀Ti3O5,请问高手们大致的条件是什么啊?
声阻还有密度大家写多少啊?
还有我做了一次试验,温度大概在180度,O2 5SCCM 蒸镀时的真空度大概在2X10-5TORR,请问这个条件可以么?蒸镀出来的折射率暂时还没办法测。
不甚感激! 工艺主要还是靠自己摸索,别人的工艺自己机器有可能不适合
蒸镀出来的折射率暂时还没办法测-可测量光谱曲线,用Macleod计算 估计做出来到时候吸收会严重一些 此种条件下镀出的膜,吸收有点严重哟。 非常感谢楼上各位高手,那吸收比较严重主要是什么原因引起的呢?在现有设备条件下该如何改进工艺呢?谢谢了! 很想知道结果,没有离子源能行吗? 离子源不是万能的,只是有些工艺需要其作为辅助手段,真正的镀制工艺得靠自己去摸索。
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