1315 nm高反射率硅镜的膜系分析
1315 nm高反射率硅镜的膜系分析‘彭玉峰程祖海张耀宁周次明杨春华
(华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉430074)
提要利用TFCALC薄膜设计软件包对TiQ/SiO-TaiOsISO,和S/Sio,膜系中心波长为1315- 的硅镜反射特
性进行了仿真模拟。给出了正人射与45'斜入射情况下三种膜系硅镜的反射特性,并进行了分析与讨论。
关健词化学氧碘激光器,硅镜,高反射率,薄膜
中圈分类号0484.5 文献标识码A
Analyses of Si-mirror Film Systems with High Reflectance at 1315 nm
PENGY u-feng CHENG Zu-hai ZHANGY a-oning ZHOU Ci-ming YANG Chun-hua
?Yational Key Laboratory for Laser Technology,H-zhong Unirrrsity of Science and Tech-log ,Wthan 430074
Abshxt Reflectancep ropertieso fsi limrtm irrorsw ithT iO,/SO,.,T ar05/&O,,andS ifSiO,fi lm systemsa t1 315n m
are manericaly analyzed, and disrvssed under conditions of normal and 45' tilt angle incidence, respectively. The results
showt hatre flectancep ropertiesof T iO,/SOran dT a,q渴qaresi milar;th eoreticalre flectivityis le ssth an9 9.9596fo r
1315 nm laser wavelength. Theoretical reflectivity of Si(c)/SiQ stack can be more than 99.9996
Keyw ards CO IL,s itiornm irorrs,fi lm,h ighr eflectivity 看看什么东西 看了,感觉意义不大。 路过,顶一下。 需要高反镜的资料,借用下吧,谢谢啦 路过,顶一下 看看吧
不知道什么样
页:
[1]