xx_912 发表于 2009-8-5 21:35:04

专利下载: 一种用于激光晶体的光学薄膜结构及其制备方法

一种用于激光晶体的光学薄膜结构及其制备方法
本发明涉及一种用于激光晶体的光学薄膜结构及其制备方法,其特征在于:在传统的用于激光晶体的介质/金属的复合膜系之间增加了一层硬质薄膜缓冲层,其作用是增加介质-金属复合膜系的结合力,并提高复合膜系的抗激光损伤阈值,适应了大功率激光器的发展需要。所述的缓冲层薄膜是通过电子束热蒸发制备的,生长过程是首先将TiN颗粒及清洗后的衬底置于真空生长室中;将生长室抽真空;利用电子束照射TiN颗粒,同时在真空室中通入一定量的氮气或是氮离子,TiN缓冲层薄膜就会沉积到衬底上。本发明TiN 缓冲层可以显著提高复合膜系的结合力和抗激光损伤阈值,对于飞速发展的高功率激光器有着重大的理论和现实意义。  

longmin 发表于 2009-8-6 03:50:57

謝謝樓主提供

aaron0930 发表于 2009-8-8 01:37:59


感謝大大呀
我最近一直在研究薄膜的技術阿

fanyushan 发表于 2009-9-11 14:58:34

看那看那,哈哈

黄小羊 发表于 2009-10-8 14:24:29

一种用于激光晶体的光学薄膜结构及其制备方法0

wanghe 发表于 2009-10-16 19:15:07

为啥要回复?

九门 发表于 2009-12-10 19:22:21

学习学习谢谢

cynical33 发表于 2009-12-16 03:21:04

有点奇怪,这也叫专利?看看
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