gds
发表于 2009-8-5 11:32:37
磁控溅射工艺控制模式比较
磁控溅射工艺控制模式比较
[会议论文] 郑舒颖, 陈少扬，2001 - 第十一届全国薄膜学术交流会
对各种磁控溅射的工艺参数控制技术进行比较,分析各自的特色,并指出光学厚度监控对于制备精密光学多层膜的反应溅射工艺的重要性.
doctor
发表于 2009-8-7 11:30:25
很好的资料!
yupo54
发表于 2009-8-9 02:37:34
谢谢楼主
ungle
发表于 2009-8-13 10:56:10
好东西，必顶！
ungle
发表于 2009-8-13 11:03:15
怎么无法解压缩呢
ungle
发表于 2009-8-13 11:21:07
真想下载看看
solez
发表于 2009-8-16 05:13:58
不错的资料。
不足是年代久远了点，2001年的~
acdc
发表于 2009-8-22 03:22:51
非常感谢！！！！！！！！！！！！！！！！
llhleo
发表于 2009-8-31 11:48:28
好资料啊
！！
ymh7412
发表于 2009-11-2 07:01:00
我一定要下载下来
