新型卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜机
新型卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜机朱刚毅腾胜真空技术工程有限公司,广东肇庆526060摘 要:作为光学镀膜设备中的新机型——卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜设备，是一种适用于圆柱型、圆锥型等带对称回转轴的工件外表面镀光学膜的真空镀膜设备，它解决了目前箱式光学镀膜机无法镀制这类工件的难题。[著者文摘]
关键词:卧式 离子辅助电子束蒸发 直枪 光学膜
分类号: TB79[著者标引]文献标识码：B文章编号：1002-8935（2005）06-0045-02栏目信息：工艺与应用
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