zyp 发表于 2009-8-2 01:00:57

用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统

用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统
徐祖华 黄智伟 朱慧玲南华大学电气工程学院，衡阳421001摘　要:设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统，采用三菱PLC和Easy View触摸屏，具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能。文中介绍了PLC控制系统软硬件结构，及抗干扰措施。

关键词:磁溅式三靶真空镀膜机 控制系统 PLC 可编程序控制器 电气控制系统 金属化合物膜
分类号:　TG174.444 TM571.61文献标识码：文章编号：栏目信息：
相关文献:主题相关

dyjaj 发表于 2009-9-11 02:56:05

学习 学习哦

zrk35 发表于 2010-1-12 19:05:24

学习 学习哦

fanyushan 发表于 2010-1-12 20:26:32

好东西呀，自己好好看看

zrk35 发表于 2010-1-31 16:24:19

学习 学习哦!

sgh920 发表于 2010-3-11 11:29:34

谢谢楼主分享！

leicd 发表于 2010-6-17 22:21:58

下来学习学习！！1

jjyytt 发表于 2010-6-27 05:26:35

下来学习学习！！1

lizhil 发表于 2010-7-16 00:06:18

非常感谢LZ
页: [1]
查看完整版本: 用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统