xx_912 发表于 2009-7-23 02:19:39

用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析

用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析
周佩瑶
(天津大学物理系)
　　
徐玉兰
(首都师范大学)
　　
吴亚非
(天津大学物理系)
摘要
摘要:分析了国产6JA 型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果.
关键词:干涉显微镜,薄膜,厚度,波长,误差.
中图分类号: TH742
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