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用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析8 I" `5 q# l$ y. h% x
周佩瑶
# d' J; M+ u+ C, j(天津大学物理系)
2 ?! t" S& M5 U' M2 i 6 @# J+ s( l% k6 G$ V$ @; O: B
徐玉兰: X7 B0 v- Q6 H, [5 N4 m0 ?
(首都师范大学)
- M, l& e& N- V1 C) E, b8 U' A% L1 _, H . g& l. Y) H4 D
吴亚非
* |) w" c4 b. r/ A(天津大学物理系)( ?9 b. J. b- A9 G$ L: q9 L
摘要% I& Q B& W6 s/ f2 H3 m' Y: ~
摘要:分析了国产6JA 型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果.
: C% g& |3 o8 Q/ r$ Q5 j关键词:干涉显微镜,薄膜,厚度,波长,误差.
+ h, |* s/ `& S; R+ x中图分类号: TH742 |
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雷达卡
发表于 2009-7-23 02:11:12
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发表于 2009-11-2 07:06:24
