gds 发表于 2009-7-2 04:49:07

用于制造光学薄膜的先进等离子体源

论文标题： 用于制造光学薄膜的先进等离子体源

作者： 尤大纬,中国科学院空间科学与应用研究中心 王宇,中国科学院空间科学与应用研究中心 李晓谦,中国科学院空间科学与应用研究中心 王怡德,北京仪器厂 林永昌,北京理工大学

会议名称： 中国电工技术学会第六届学术会议

主办单位： 中国电工技术学会

会议时间： 19990600

会议地点： 北京

母体文献： 中国电工技术学会第六届学术会议论文集

出版时间： 19990500

页码： 553～564

关键词： 光学薄膜 等离子体辅助镀膜 等离子体源

摘要： 该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。

gchtang 发表于 2009-9-19 14:46:28

用于制造光学薄膜的先进等离子体源，值得学习，

yuancy 发表于 2011-4-22 11:33:14

还可以的资料

interl5 发表于 2011-5-12 08:10:53

值得学习

weimao_liu 发表于 2011-5-16 06:36:14

支持，顶一下！！

ngfcaipiao 发表于 2011-5-16 15:34:28

不错的资料，谢谢楼主！
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