减反膜制备工艺及其应用
减反膜制备工艺及其应用作者: 罗海燕, 华南理工大学电信学院 广州 510640 黄光周, 华南理工大学电信学院 广州 510640 马国欣, 华南理工大学电信学院 广州 510640 朱建明, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060 戴晋福, 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060
会议名称: 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会
主办单位: 中国真空学会 广东省真空学会
会议时间: 20071209
会议地点: 广东东莞
母体文献: 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会论文汇编
出版时间: 20071209
页码: 53-57
关键词: 光学薄膜 减反膜 制备工艺 真空蒸镀 溅射镀
摘要: 减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位,其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外的研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点,如真空蒸镀、溅射镀和溶胶-凝胶等,提出了相应的改进方法,并分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景。
呵呵,顶下! 这可是好东西,谢谢分享 还不够,楼主多发些这样的材料 好东西一定得顶啊 好东西,谢谢!!!! 感谢分享!{:12_131:} 想看看,金币不够了{:12_132:} {:12_131:} 谢谢分享
页:
[1]
2