新规可类比H4的药品试验
FH-01真空蒸着材料和H4的对比膜 料性 质 H4 FH-01
物理性质 外观:黑色颗粒状 ;密度:5.9g/cm3 ;纯度:99.99﹪ ;透光范围:0.4-7μm;折射率2.13/550nm (温度300℃);消光系数1×10-4;熔点:1800℃蒸发温度:2300℃ 外观:黑色颗粒状;密度约6g/cm3:纯度:99.9%:从近紫外到红外高透过,可见光波段的屈这绿为1.84-2.08
使用特性 1、熔融晶质化材料,不需要预熔融时间 1、蒸着时不需要预熔融
2、晶质化材料在高真空成膜制备时几乎无水和气体,蒸镀过程中不会产生飞溅 2、蒸着时也H4一样,点状光斑并且没有飞溅
3、在蒸发温度时,形成较厚的液面,蒸发分子发射角不会变化 3、熔融的液体膜料类似与Tio2
4、能重复加料,多次蒸镀,光学折射率差不多不变化 4、蒸着前后的对比写真如下图所示
5、材料具有“弹簧”性质的机械特性,它不但可以在玻璃或晶体基板上蒸镀,而且还可以蒸镀在塑料基板上,不会龟裂,具有好的结合力
蒸着工艺 蒸着装置:昭和900 蒸着装置:昭和900
1、真空度2.0E-3;2、温度280℃;3、蒸着速率:4.0A/s; 4、APC设定1.1E-2 1、真空度2.0E-3;2、温度280℃;3、蒸着速率:4.0A/s; 4、设定1.1E-2
蒸着程序 两种材料选择一样的蒸着程序,中心波长、光学膜厚和滤光片等都一样。(见表2 )
分光特性 表3列出了H4和FH-01的分光特性:在保持基本一样的条件下,两种膜料的分光特性基本上一样,H4在波峰的位置比FH-01略高点,反映在屈这率上就是FH-01的屈这率略低一点。
所用药量 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(¥) 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(¥)
126.4g 122.7g 3.7g 29.6 125.4g 121.2g 4.2g 29.4
表4列出了FH-01的三段目的分光特性和Monitor的分光特性的对比图并附带数据。
表5是根据表4的数据计算的FH-01大气屈折率,这个屈折率和H4的屈折率基本一样。
结论:经过实验,H4和FH-01有相近的屈折率,密度也基本一样。若蒸着相同的厚度,它们耗费的药量相差不大。根据实验的结果,光学厚度是3时,H4用药量4.2g,FH-01用药3.7g。按照现在目前H4的8000RMB价格和FH-01的7000RMB的价格计算的话,二者基本没有什么区别。如果真的有区别的话,应该是屈折率略微有差异,并且FH-01的屈折率可以达到1.84,这对于三层AR来说,可以适当的增加带宽。在成本上,FH-01并没有降低成本。
FH-01真空蒸着材料和H4的对比
膜 料性 质 H4 FH-01
物理性质 外观:黑色颗粒状 ;密度:5.9g/cm3 ;纯度:99.99﹪ ;透光范围:0.4-7μm;折射率2.13/550nm (温度300℃);消光系数1×10-4;熔点:1800℃蒸发温度:2300℃ 外观:黑色颗粒状;密度约6g/cm3:纯度:99.9%:从近紫外到红外高透过,可见光波段的屈这绿为1.84-2.08
使用特性 1、熔融晶质化材料,不需要预熔融时间 1、蒸着时不需要预熔融
2、晶质化材料在高真空成膜制备时几乎无水和气体,蒸镀过程中不会产生飞溅 2、蒸着时也H4一样,点状光斑并且没有飞溅
3、在蒸发温度时,形成较厚的液面,蒸发分子发射角不会变化 3、熔融的液体膜料类似与Tio2
4、能重复加料,多次蒸镀,光学折射率差不多不变化 4、蒸着前后的对比写真如下图所示
5、材料具有“弹簧”性质的机械特性,它不但可以在玻璃或晶体基板上蒸镀,而且还可以蒸镀在塑料基板上,不会龟裂,具有好的结合力
蒸着工艺 蒸着装置:昭和900 蒸着装置:昭和900
1、真空度2.0E-3;2、温度280℃;3、蒸着速率:4.0A/s; 4、APC设定1.1E-2 1、真空度2.0E-3;2、温度280℃;3、蒸着速率:4.0A/s; 4、设定1.1E-2
蒸着程序 两种材料选择一样的蒸着程序,中心波长、光学膜厚和滤光片等都一样。(见表2 )
分光特性 表3列出了H4和FH-01的分光特性:在保持基本一样的条件下,两种膜料的分光特性基本上一样,H4在波峰的位置比FH-01略高点,反映在屈这率上就是FH-01的屈这率略低一点。
所用药量 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(¥) 蒸着前 蒸着后 实际用量 费用(¥)
126.4g 122.7g 3.7g 29.6 125.4g 121.2g 4.2g 29.4
表4列出了FH-01的三段目的分光特性和Monitor的分光特性的对比图并附带数据。
表5是根据表4的数据计算的FH-01大气屈折率,这个屈折率和H4的屈折率基本一样。
结论:经过实验,H4和FH-01有相近的屈折率,密度也基本一样。若蒸着相同的厚度,它们耗费的药量相差不大。根据实验的结果,光学厚度是3时,H4用药量4.2g,FH-01用药3.7g。按照现在目前H4的8000RMB价格和FH-01的7000RMB的价格计算的话,二者基本没有什么区别。如果真的有区别的话,应该是屈折率略微有差异,并且FH-01的屈折率可以达到1.84,这对于三层AR来说,可以适当的增加带宽。在成本上,FH-01并没有降低成本。
H4蒸着后的情况写真 FH-01蒸着后的写真 了解 学习一下! 学习了,不错 {:12_131:} {:12_131:}
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