› 薄膜工艺 › 谁知道Cu靶和Al靶哪个更容易中毒？

redlinn 发表于 2009-3-10 23:36:07

谁知道Cu靶和Al靶哪个更容易中毒？

利用反应磁控溅射法制备薄膜的时候

若通氧气，Cu靶和Al靶哪个更容易中毒？

gds 发表于 2009-3-11 00:23:25

不懂，学习下

xiaomaguohe 发表于 2009-3-11 05:11:00

rstu330 发表于 2009-3-24 13:37:03

唐松泉（专利权）

申请（专利权） 唐松泉 一种保健仪器的安全装置，包括发热元件（２）和定时器（３）、外壳等构成，外壳内设有一电源降压变压器（１），电源通过一降压变压器再连接发热元件，且在发热元件上串联自复保险丝（４）。本实用新型的低电压工作可保证用户的电器安全。自复保险丝还能可靠防止过热造成的危险。且体积小，结构简单，工作可靠。

wukeyi28 发表于 2009-3-24 23:20:51

靶中毒 应该是指靶无法启辉 无法溅射吧

hmilyu 发表于 2009-3-28 11:21:02

路过 学习！！！！！！！

望春风 发表于 2009-3-29 13:23:27

路过 学习！！！！！！！

zxl1099 发表于 2009-3-31 02:38:49

引用第4楼wukeyi28于2009-03-24 07:20发表的:
靶中毒 应该是指靶无法启辉 无法溅射吧

wxl0106 发表于 2009-4-17 06:23:22

AL靶较易中毒

whzg 发表于 2009-5-2 21:27:25

靶中毒是指金属靶材表面与氧气等活性气体反应，导致靶材溅射不稳定或起辉困难。Al靶材比Cu靶材更容易氧化，也就更容易中毒

查看完整版本: 谁知道Cu靶和Al靶哪个更容易中毒？