范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用
范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用朱俊杰 刘磁辉 林碧霞 谢家纯 傅竹西中国科学技术大学物理系 中国科学院结构分析重点实验室，安徽合肥230026摘 要:近年来，随着对宽禁带半导体材料，氧化锌薄膜研究的快速发展，对其电学性质的研究也显得尤为重要。主要介绍范德堡方法在ZnO薄膜电学性质测量中的应用，并对初步测量结果作简要的讨论。
关键词:范德堡方法 ZnO膜薄 欧姆接触 霍尔效应
分类号: O472.3文献标识码：文章编号：栏目信息：研究论文
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