高手急救,金属膜!!
诚信求教!!!诸位高手,最近镀金属膜层铬 CR ,针孔层出不穷,镀完酒精一擦,针孔更多!真空室是刚洗过的,最近都块头疼死了! 你用什么方式蒸镀铬 CR ?电子枪好像没有这现象,速度要慢些,请别的高手指教。。。 我是用 电子枪 的,离子源辅助
速度也不快。4A/S、2A/S
但是针孔就是去不掉,一擦一洗马上就都出来了!!
高手帮忙!! 以前也出现过,不过只有一两次也就没有了,不知真空度有没有问题、还有镀膜前基底有没有处理干净、CR膜料有放气处理吗? 是不是金属离子能量太高了,我镀Mo也会出现类似问题 镀膜之前用离子源轰击一段时间,注意基片的清洗 基材表面洁净度不够的可能性大一些 {:12_131:} {:12_131:}
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