lqyan215 发表于 2008-6-15 01:40:39

关于晶控MDC-360向各位前辈请教

我们在国产镀膜机里配置了MDC-360晶控仪，在使用过程中出现以下问题，向各位请教：
1.当一层膜沉积结束停止沉积后，晶控仪上的厚度显示会慢慢往回缩。
2.晶控仪在沉积室中的适当位置（工件架为锅盖式）。
大样品膜面不均匀,现在弄不明白是晶控仪位置不合适，挡蒸发源，还是别的原因。

谢谢各位前辈！！！！

zgk 发表于 2006-1-6 13:41:53

如果每一炉都是这种情况，也是可以解决的呀，根据每炉的分光曲线调节tooling就可以了！！
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