请教各位前辈几个有关铁电薄膜方面的问题,谢谢先~
1、铁电薄膜是不是就是光学薄膜的一种?现代光学薄膜的制备是不是几乎都采用真空镀膜方法?
真空镀膜方法主要分:
1) 物理气相沉积(PVD):
蒸发镀:热蒸发、电子束蒸发、溅射蒸发。 。 。
溅射镀:磁控溅射、反应溅射 、中频溅射和脉冲溅射。 。。
离子镀:多弧离子镀、空心阴极电弧离子镀、阴极放电离子镀。 。 。
2) 化学气相沉积(CVD):
高温和低温CVD、低压CVD、激光辅助CVD 。。 。
以上说法对不对?
2、 敬请将铁电氧化物、磁性合金,以及铁电氧化物与磁性合金的复合膜等简单介绍一下
烦请各位好心的前辈赐教一二,非常感谢!!
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